技術參數:

水平軸的特征：

?  行程長度(Lt)：0. mm to 260 mm

?  定位速度：0.02 mm/s 到 200 mm/s

?  測量速度：0.02 mm/s 到 10 mm/s; 粗糙度測量 推薦速度0.1 mm/s至0.5 mm/s

?  X方向取樣間距：0.05 μm至30 μm,可調整

?  每次測量最多測量點：5200000點

?  分辨率：0.8 nm

?  X軸測量的不確定度：± (0.2+l/1000) μm; l 單位 mm

測頭系統特征：

?  測頭測量范圍：26 mm (200 mm測臂)

?  分辨率：0.8mm

?  測量力：0.5 mN to 30 mN, 可通過軟件設置

殘余誤差 Rz0, Rq0：

?  vt = 0.1 mm / s時的殘余誤差：Rz0≤ 20 nm  Rq0≤ 1 nm, typical

輪廓：

?  距離測量顯示誤差：± (1.0+l / 150) μm; l 單位 mm

?  半徑測量顯示誤差：(R ≤ 10 mm) ± 1 μm (10 mm < R ≤ 300 mm) ± 0.17 + (R/ 12) μm (R > 300 mm) ± (-18 + R / 7) μm